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簡單介紹座式真空計的測試原理

更新時間:2015-05-15      瀏覽次數(shù):489
  簡單介紹座式真空計的測試原理
  座式真空計是基于在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器。在低壓強氣體中,氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強成正比。電離真空計是基于在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器。
  測量儀器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管,管內(nèi)有陰極、柵極和收集極。收集極電位相對于陰極電負電位;柵極相對于陰極電正電位。當電離規(guī)管通電加熱后,陰極發(fā)射電子,在電子到達柵極的過程中,與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當發(fā)射電流一定時,正離子數(shù)目與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后,經(jīng)測量電路放大,可由批示電表讀出所要測量的真空度。
  座式真空計的真空系統(tǒng)暴露大氣后,電離規(guī)玻璃泡和電極表面會吸附很多氣體,在真空環(huán)境下,氣體又被釋放出來,影響測覺精度。為消除這種影響,在測量前必須對規(guī)管進行除氣。電離規(guī)管除氣采用烘烤方法,即給燈絲和柵極可分別通電加熱,板極則采用高頻感應加熱或電子轟擊,使氣體在測量前被釋放出來。

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