不銹鋼擴(kuò)散泵的性能由哪些因素決定?
更新時(shí)間:2015-05-27
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不銹鋼擴(kuò)散泵的性能由哪些因素決定?
不銹鋼擴(kuò)散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度(約為200度)產(chǎn)生大量的油蒸氣,油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)。這樣,被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運(yùn)動(dòng),氣體分子碰到泵壁又反射回來,再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)氣多級(jí)壓縮,zui后由前級(jí)泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。
通常不銹鋼擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、zui大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥?。下面就來看一下這幾個(gè)部分的詳細(xì)介紹:
1.極限真空:如果對(duì)一般擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì),加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴(kuò)散泵性能大大改善,極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。
2.zui大反壓強(qiáng):zui大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)zui大值。如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于zui大反壓強(qiáng),則擴(kuò)散泵就不能正常工作。
3.抽氣速率:不銹鋼擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動(dòng)理論來推算出來。
4.冷阱及低溫?fù)醢澹河捎?strong>不銹鋼擴(kuò)散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子,大部分由泵壁冷凝,這是因?yàn)楸帽谕庠O(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射,散射會(huì)返回被抽空間,這種現(xiàn)象在低溫實(shí)驗(yàn)室中要特別注意。如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢?,這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來,截止了油蒸氣的返流。