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淺析電子真空計(jì)的測(cè)量范圍

更新時(shí)間:2015-07-06      瀏覽次數(shù):683
  淺析電子真空計(jì)的測(cè)量范圍
  電子真空計(jì)在壓力測(cè)量中,除極少數(shù)直接測(cè)量外,絕大多數(shù)是間接測(cè)量。就是先在被測(cè)氣體中引起一定的物理現(xiàn)象,然后再測(cè)量這一過(guò)程中與壓力有關(guān)的物理量,進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測(cè)量的特點(diǎn),亦會(huì)造成某些問(wèn)題。
  任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才zui顯著,超出這個(gè)范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測(cè)量范圍,這個(gè)范圍就是電子真空計(jì)的“量程”。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程,是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達(dá)19個(gè)數(shù)級(jí)(105~10-14pa),沒(méi)有任何一種真空計(jì)能測(cè)量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計(jì)分別管轄一定的區(qū)域。但由于不同型號(hào)的電子真空計(jì)在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,往往要造成較大的誤差。
  在被測(cè)空間引起一定物理現(xiàn)象,還會(huì)出現(xiàn)這樣的問(wèn)題,即從測(cè)量的角度出發(fā),本需要一種單純的物理現(xiàn)象,但有時(shí)卻不可避免地帶來(lái)一系列寄生現(xiàn)象,這些寄生現(xiàn)象不但給測(cè)量量帶來(lái)誤差,有時(shí)還會(huì)“喧賓奪主”,*把主要現(xiàn)象掩蓋住了。為改善電子真空計(jì)性能及提高真空測(cè)量準(zhǔn)確度,必須突出主要現(xiàn)象,抑制寄生現(xiàn)象。

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